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在發(fā)展中求生存,不斷完善,以良好信譽(yù)和科學(xué)的管理促進(jìn)企業(yè)迅速發(fā)展首頁(yè)-產(chǎn)品展示-工業(yè)及半導(dǎo)體檢測(cè)解決方案-晶圓缺陷光學(xué)檢測(cè)設(shè)備-AWL系列半導(dǎo)體晶圓缺陷檢測(cè)/國(guó)產(chǎn)晶圓搬運(yùn)機(jī)
產(chǎn)品型號(hào):AWL系列
企業(yè)實(shí)力
Enterprise Strength有效保修
Valid Warranty質(zhì)量保障
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AWL系列半導(dǎo)體晶圓缺陷檢測(cè)/國(guó)產(chǎn)晶圓搬運(yùn)機(jī),兼具穩(wěn)定性和安全性,能夠安全可靠的傳送晶圓,適合于前道到后道工程的晶圓檢查
一個(gè)晶圓在經(jīng)過一系列復(fù)雜工序后最終變成多個(gè)IC單元,期間晶圓需要依賴搬運(yùn)機(jī)在處理站之間執(zhí)行快速、精確的傳送作業(yè)。納米級(jí)厚度的晶圓很容易在傳送過程中損壞,而且還須確保在工序中晶圓表面不得有臟污、缺陷等。
SOPTOP擁有AWL046、AWL068、AWL812三種機(jī)型,多類配置,分別可適用于 4/6 英寸,6/8英寸、8/12英寸的晶圓檢測(cè),適應(yīng)范圍廣、搭配靈活 。
AWL系列半導(dǎo)體晶圓缺陷檢測(cè)/國(guó)產(chǎn)晶圓搬運(yùn)機(jī)可自由設(shè)置的檢查模式,充分符合人機(jī)工程學(xué)設(shè)計(jì),操作舒適、簡(jiǎn)便。
AWL系列具有宏觀檢查手臂,可以實(shí)現(xiàn)晶面宏觀檢查、晶背宏觀檢查 1 的 360°旋轉(zhuǎn),更為容易發(fā)現(xiàn)傷痕和微塵。通過操作桿可隨意將晶圓傾斜觀察。晶面最大傾斜角度70°,晶背 1 最大傾斜角度 90°,晶背 2最大傾斜角度 160°,利用旋轉(zhuǎn)功能、傾斜角度,可以目視檢查整個(gè)晶圓正反面及邊緣。
LCD 顯示屏,可為操作者提供更直觀的視覺體驗(yàn),可清晰的顯示當(dāng)前檢查項(xiàng)目及次序,調(diào)試參數(shù)一目了然。手動(dòng)快速釋放真空載物臺(tái)可提高操作者的舒適度和工作效率。
采用專業(yè)半復(fù)消色差金相物鏡,可滿足明場(chǎng)、暗場(chǎng)、DIC、偏光等多種觀察方式。全新電動(dòng)控制系統(tǒng),可排查 μm 級(jí)異常,諸如孔未開出,短路,斷路,沾污,氣泡,殘留等。
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型號(hào):AWL系列
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